專注于超細(xì)超純粉碎與分級(jí)研究、粉體形狀控制與選擇性粉碎、粉體表面改性、和粉體工程設(shè)備的系統(tǒng)集成

光刻機(jī)有多依賴先進(jìn)陶瓷？
——針式粉碎機(jī),針盤磨

　　最近，全球光刻機(jī)大佬ASML給美國的工程陶瓷企業(yè)CoorsTek頒了一個(gè)卓越供應(yīng)商獎(jiǎng)。頒獎(jiǎng)是歐美大企業(yè)的常見行為，用以表達(dá)對(duì)上游供應(yīng)商準(zhǔn)時(shí)提供令人滿意貨物的認(rèn)可，有的還包括資金或?qū)嵨镏С帧?/p>

　　在光刻和晶圓檢驗(yàn)中會(huì)用到諸多陶瓷元件，軸承、導(dǎo)軌、內(nèi)襯、加熱、承載、固定，幾乎無所不能，無所不在。在CoorsTek而言，其產(chǎn)品有包括物理、化學(xué)、原子層沉積用襯板、過濾器等組件;等離子蝕刻設(shè)備元件，如用于改善晶圓蝕刻均勻性的聚焦環(huán)、氣體噴嘴、腔體封蓋等;快速熱處理和外延加工元件;離子注入設(shè)備元件，如陶瓷空氣軸承等;光刻和晶圓檢測(cè)元件，如夾頭、晶圓載體等;低壓化學(xué)氣相沉積及傳熱組件，如擋板、支架、噴頭等;化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)用拋光臺(tái)和拋光板;各種半導(dǎo)體部件加工時(shí)的提升、加熱、末端接觸部件，等等……它們按用途需要具備抗靜電、耐高溫、耐腐蝕、不膨脹等特點(diǎn)。

　　據(jù)小編初步統(tǒng)計(jì)，僅CoorsTek披露的光刻機(jī)用先進(jìn)陶瓷部件就近30種，其中尤以碳化硅(直接燒結(jié)、重結(jié)晶、氣相沉積)為主，還包括氮化硅、氮化鋁、剛玉、氧化釔、高純石英等多種材質(zhì)及形式的超純及復(fù)合材料。而ASML的陶瓷部件供應(yīng)商當(dāng)然不止CoorsTek一家，部件也遠(yuǎn)不止幾十種。隨著我國光刻機(jī)攻堅(jiān)征途不斷前行，當(dāng)然會(huì)給先進(jìn)陶瓷產(chǎn)業(yè)帶來眾多機(jī)遇!

　　山東埃爾派采用目前國際先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念和制作工藝，并結(jié)合公司多年工程經(jīng)驗(yàn)，針對(duì)市場(chǎng)需求開發(fā)的針盤磨，可升級(jí)為雙動(dòng)力針盤磨，達(dá)到200m/s線速度，獲得更大粉碎力。雙動(dòng)力針盤磨+打散機(jī)”連續(xù)改性工藝，歐美知名礦物公司常用經(jīng)典工藝。